高速低温冲击热流仪
高低温冲击热流仪它是半导体与电子行业中用于局部极速温变冲击与可靠性测试的精密设备,区别于传统箱体式冷热冲击,主打单点 / 小区域精准控温、毫秒 - 秒级温变切换,适合在板 / 在系统测试(无需拆件)
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描述
高低温冲击热流仪它是半导体与电子行业中用于局部极速温变冲击与可靠性测试的精密设备,区别于传统箱体式冷热冲击,主打单点 / 小区域精准控温、毫秒 - 秒级温变切换,适合在板 / 在系统测试(无需拆件)。

核心工作原理
- 用气流罩形成局部密闭测试腔,高速喷射已精准控温的高温 / 低温气流直接冲击样品表面;
- 复叠式环保制冷 + 高效加热模块快速切换,配合闭环热电偶(可测 DUT 表面)实现精准控温;
- 气流速率可调,避免对微小器件造成物理损伤,同时保证10 秒级(如 - 55℃→+125℃约 11–12s)的温度转换;
- 相比传统冷热冲击箱,无需整体控温、不影响周边器件,温变速率更高。

关键技术参数(主流机型,如 FAM6031、HE-ATS750、TS560)
| 参数项 | 典型范围 |
|---|---|
| 温度范围 | -70℃~+225℃(部分可达 - 80℃~+250℃) |
| 转换时间 | -55℃↔+125℃ ≤12s |
| 控温精度 | ±1℃,显示精度 ±0.1℃ |
| 气流量 | 4~18 SCFM(约 1.9~8.5 L/s) |
| 制冷方式 | 蒸汽压缩复叠制冷(风冷,无液氮,环保制冷剂) |
核心应用场景
- 半导体 / 芯片:IC 在板测试、失效分析(FA)、温度循环、车载 IGBT/MOSFET 可靠性评估;
- 光通讯:SFP/QSFP 光模块高低温性能验证;
- 消费电子:PCB 板上元器件单点温冲、焊点疲劳测试;
- 汽车电子:ECU、传感器在极限温度下的电性能稳定性测试。

结构与功能特点
- 可移动悬臂 + 隔热风罩,适配探针台 / ATE 系统;
- 手动 / 程序双模式,支持多段温变循环;
- 纯机械制冷,无需液氮等耗材,运维成本低;
- 紧凑型机身,适合实验室、产线旁快速部署。

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安全与维护要点
- 必须在通风环境使用,避免制冷剂泄漏风险;
- 定期清洁气流出口、过滤器,防止堵塞影响流量与控温;
- 严禁在气流罩未密封时进行极速温变,防止冷凝水损坏样品;
- 操作人员需经培训,避免低温冻伤或高温烫伤。

